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SV400 双阀体推车款大抽速氦气质谱检漏仪
SV400 双阀体推车款大抽速氦气质谱检漏仪
大抽速氦检仪 FAB专用检漏仪
大抽速干泵式检漏仪，适用洁净室，FAB车间，无辅抽的真空检测系统
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技术要点
技术参数：
外观参数：
- 为符合真空工业与半导体制造的干式氦气检测的标准，由此SV400诞生
- 一款增加气路辅抽的大抽速漏检仪。更好的缩短的抽气时间，更快速的响应时间
- 增加了进气口计算与内部计算，再计算后能继续在检测环境氦气较高的情况下继续氦检工作
- 检测极限达到1.0E-12mbar·l/s 进入先进行列
- 配备无线遥控器后能更好的在直线超过100m（无障碍）距离下流畅的检测与控制设备
- 搭配SV系列APP通过蓝牙连接远程控制设备（无障碍50m）
| 应用场景： | · 各种压力容器与管道装置 · 半导体行业，电池制造行业 · 清洁度要求极高的真空设备系统 · 真空镀膜行业 |
技术参数：
| 最小可检漏率He4 | 5.0E-13Pa.m3/s (真空) | ≤ 5.0E-9Pa.m3/s (吸入) | |
| 响应时间 | ≤ 0.5 s | ||
| 启动时间 | ≤ 3min | ||
| 分子泵抽速He | 2.5L/s ( Hicube 80 ) | ||
| 前级真空泵抽速 | 干 泵 | 8L/s;(Iwata 500C/ 安捷伦 TS600);30m³/h | |
| 4L/s;(Iwata 250C/ 安捷伦 TS300);15m³/h | |||
| 油 泵 | 6L/s;(BAOSI RV24 等)；24 m³/h | ||
| 可检气体 | He4 / He3 / H2 | ||
| 测量单位 | Pa.m3/s 、mbar.l/s 、Torr.l/s 、PPm | ||
| 离子源 | 氧化钇铱丝（两根） | ||
| 质谱分析室 | 180°非均匀磁偏转质谱 | ||
| 校准漏孔 | 通道型-7mbar.l/s（内置漏孔） | ||
| 通讯接口 | RS232/IO | ||
| 语言 | 中文/英文/俄文 | ||
| 工作环境 | 温度 5~40℃ 湿度 ≤80% | ||
| 电源供电 | AC220V± 10 | ||
| 重量 | 约 115 Kg | ||
| 尺寸 | 974mm*550mm*1026mm | ||
外观参数：